*高使用溫度可達(dá)300℃的高溫高效率汽化器。
該系列同時(shí)搭載液體噴嘴與載氣噴嘴(0.8~180SLM)的雙流體噴嘴，可實(shí)現(xiàn)高效率汽化。
標(biāo)配金屬密封件和耐熱結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)*高300℃下的液體汽化。
此外，該汽化器可選配搭載多個(gè)液體控制閥，可同時(shí)對原料液、稀釋液、清洗液等多種液體進(jìn)行流量控制和汽化。
特點(diǎn)
- 高效率汽化
- *高使用溫度300℃
選配規(guī)格
- 多個(gè)液體流量控制閥
使用范例
高沸點(diǎn)液體的汽化
該系列搭載雙流體噴嘴結(jié)構(gòu)與*高加熱溫度為300℃的耐熱結(jié)構(gòu)，非常適合Low-K(低介電常數(shù)材料)、High-k(高介電常數(shù)材料)以及沸點(diǎn)高、蒸氣壓低的金屬材料的汽化。
若選擇在汽化室附近安裝多個(gè)液體控制閥，則可以同時(shí)或交替地將原料液、稀釋液、溶劑等液體引入汽化室汽化。
規(guī)格表
| *高溫度 | 載氣流量 | *大H2O汽化量 | *大TEOS汽化量 | 密封件 |
| 300℃ | 0.8~130SLM | 5g/min | 20g/min | Au |
