該系列是采用高效雙流體噴嘴結(jié)構(gòu)的*新型號(hào)汽化器。
與VU-450系列相比，該系列汽化器通過增加汽化室的體積（到Gas Outlet 的距離加長(zhǎng)），改善了對(duì)流時(shí)間和熱交換面積，可避免未氣化完成的霧化液體進(jìn)入反應(yīng)腔，由此可實(shí)現(xiàn)更大流量的汽化。
*適合Low-K(低介電常數(shù)材料)、High-k(高介電常數(shù)材料)和各種低蒸氣壓的金屬材料的大流量汽化供應(yīng)。
該汽化器為閥門集成汽化器，若與LM-3000L結(jié)合使用，可直接控制即將進(jìn)入汽化器的液體流量，從而提高氣體流量控制的應(yīng)答速度。
特點(diǎn)
- 高效率汽化
- 維護(hù)成本低
- 汽化室附近搭載液體流量控制閥
- 噴嘴到氣體出口距離加長(zhǎng)
使用范例
半導(dǎo)體材料的汽化供給CVD、ALD
通過對(duì)汽化室進(jìn)行增擴(kuò)，從中央雙流體噴嘴噴出的霧氣比VU-450擴(kuò)散得更多，可以穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)液體為TEOS時(shí)30g/min、H2O時(shí)5g/min的大流量汽化。
規(guī)格表
| *高溫度 | 載氣流量 | H2O汽化量 | TEOS汽化量 | 密封材 |
| 200℃ | 0.8~130SLM | 5g/min | 30g/min | Au、全氟橡膠 |
