該系列汽化器的*高設(shè)定溫度為300℃，與VU-550相比汽化室更大，具有更大的加熱器功率和更長的汽化出口距離。
密封件采用Au，*高加熱溫度可達(dá)300℃。與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，汽化室更大，即使在大流量汽化的情況下也能優(yōu)化汽化效率。此外，還搭載了LINTEC*大輸出功率為240V、2400W的加熱器。
與液體質(zhì)量流量控制器聯(lián)動的控制閥包括電磁控制閥、壓電控制閥，也可選擇無控制閥類型。
特點
- 高效率汽化
- 維護(hù)成本低
- 汽化室附近搭載液體流量控制閥
- *高使用溫度300℃
- 噴嘴到氣體出口距離加長
- 多種控制閥可選
使用范例
高濃度大流量汽化
由于該汽化器的*高設(shè)定溫度為300℃，即使使用少量的載氣也可以實現(xiàn)穩(wěn)定汽化，非常適合需要高濃度汽化供應(yīng)的工藝。
作為過熱蒸汽的發(fā)生源
通過與 LM-3700 系列結(jié)合使用，可以*大汽化15g/min的H2O。它不僅適用于實驗，也適用于作為壓力波動較小的過熱蒸汽發(fā)生源的生產(chǎn)設(shè)備。
規(guī)格表
| *高溫度 | 載氣流量 | *大H2O汽化流量 | *大TEOS汽化流量 | 密封材 |
| 300℃ | 0.8~130SLM | 15g/min | 50g/min | Au |
