搭載壓電致動(dòng)器的小型無(wú)載氣式汽化器。
汽化室附近搭載壓電控制閥，可高速、**地控制汽化量。
經(jīng)流量控制后的液體被擴(kuò)散到網(wǎng)狀過(guò)濾器中并在汽化室中加熱，即使是微小流量也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的汽化。
VU-3100
特點(diǎn)
- 無(wú)載氣式汽化方式
- 微小流量汽化
- 汽化室附近搭載液體流量控制閥
- 緊湊型設(shè)計(jì)
- 維護(hù)成本低
使用范例
TEOS的無(wú)載氣式汽化
利用高溫MFC進(jìn)行的無(wú)載體式汽化存在汽化量較少的缺點(diǎn)。VU-3100系列搭載LINTEC**的無(wú)載體式結(jié)構(gòu)，盡管體積較小，卻能夠提供TEOS條件下5g/min(538SCCM)的汽化供給。
規(guī)格表
| *高溫度 | 必要壓差 | *大TEOS汽化流量 | 密封件 |
| 150℃ | 50～300kPa | 5g/min | Au |
