該系列汽化器不需要使用載氣，只要汽化材料即可完成液體汽化。
經(jīng)流量控制后的液體擴(kuò)散到汽化室入口處的網(wǎng)狀過(guò)濾器上。即使沒(méi)有載體也能穩(wěn)定地進(jìn)行液體汽化。
汽化器*高設(shè)定溫度為200℃，可實(shí)現(xiàn)H2O等各種液體原料的無(wú)載體式汽化供給。
VU-3000
特點(diǎn)
- 無(wú)載氣式汽化方式
- 維護(hù)成本低
使用范例
灰化、清潔工藝
H2O通常用于灰化（氧化）等清潔工藝，無(wú)載氣式汽化供給通常是以耐高溫MFC為基礎(chǔ)的烘烤法。然而，烘烤法具有輸出端（減壓）和供給量的條件限制。VU-3000系列汽化器不受輸出端壓力條件限制，可以在沒(méi)有載體的情況下提供H2O 5 g/min (6.2 SLM)的汽化供給。
大氣壓條件下的H2O氣體評(píng)估
即使在大氣壓條件下，VU-3000系列也可以瞬間將引入汽化器的H2O(液相)汽化。因此，通過(guò)液體MFC對(duì)液體流量進(jìn)行控制，并將其引入汽化器，則可以**把控所產(chǎn)生的H2O氣體量。該方法可用于評(píng)估大氣條件下燃料電池等生成水蒸氣的情況。
規(guī)格表
| *高溫度 | 必要壓差 | *大H2O汽化流量 | 密封材 |
| 200℃ | 250～300kPa | 5g/min | Au、全氟橡膠 |
