可將50SLM的N2氣體加熱至200℃的小型熱交換器。
特點
- 面間距158㎜×長度80㎜×高80㎜的緊湊型設(shè)計
- *大流量50SLM
- *高使用溫度200℃
- 接觸氣體部分接采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)，可加熱對其無腐蝕性的氣體
- 真空、加壓條件下也可使用
使用范例
導(dǎo)入排除設(shè)備前的稀釋N2氣體加熱
半導(dǎo)體制造設(shè)備和FPD(平板顯示器)制造設(shè)備情況下，反應(yīng)氣體被送到排除設(shè)備的過程中，會部分粘附在配管上形成堵塞。通常，用熱N2氣體稀釋是解決方法之一，但是僅通過管道外部帶狀加熱器加熱無法得到理想的效果。緊湊型熱交換器HX-0050A系列可充分加熱流體，*大限度減少此類堵塞問題的發(fā)生。
規(guī)格表
| 流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接氣體部分材質(zhì) | |
| 規(guī)格 | 50SLM | 9.8kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不銹鋼 |
