*大可對應N2、300SLM的大流量熱交換器。
特點
- *大流量300SLM
- *高使用溫度250℃
使用范例
半導體制造工藝中的干燥機
HX-0300C系列熱交換器能夠加熱*大300SLM的流量。使用大流量的加熱氣體進行干燥可提高產量。此外，由于加熱器部分不接觸氣體，因此非常適合用于需要清潔環(huán)境的半導體制造和FPD(平板顯示器)制造工藝。
規(guī)格表
| 流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接觸氣體部分材質 | |
| 規(guī)格 | 300SLM | 30kPa | 1MPa | 250℃ | SUS316L不銹鋼 |
