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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛(ài)發(fā)科干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號(hào):NRL60A
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛(ài)發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
ULVAC愛(ài)發(fā)科NRL60A干式真空泵,北崎有售
詳情介紹:

ULVAC愛(ài)發(fā)科NRL60A干式真空泵

ULVAC愛(ài)發(fā)科NRL60A干式真空泵



    NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

      特長(zhǎng)
      NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
      低噪音、低振動(dòng)
      優(yōu)良的耐腐蝕性
      標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
      選購(gòu)件
      可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。
      用途
      ?  活性氣體(CVD、刻蝕等)。
      ?  排出非活性氣體(濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。
      ?  用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
      ?  作為前級(jí)泵使用(渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵)。
      ?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。
技術(shù)參數(shù)
外形尺寸圖
抽氣速率曲線


* 1  極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w)在5.0 SLM時(shí)的值。
* 2  無(wú)結(jié)露。
* 3  用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
* 4  氮?dú)猓芊鈿怏w)流量5.0 SLM是固定值。


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