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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品列表
  • RIGAKU理學(xué)高通量和高分辨率X射線系統(tǒng) RIGAKU理學(xué)高通量和高分辨率X射線系統(tǒng)XRTmicron,該地形測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)采用新型高亮度微 X 射線光源、特殊的 X 射線鏡光學(xué)系統(tǒng)和高分辨率、高分辨率 X 射線相機(jī),與傳統(tǒng)系統(tǒng)相比,可以將測(cè)量時(shí)間縮短約一個(gè)數(shù)量級(jí)。 可以自動(dòng)執(zhí)行從樣品設(shè)置到測(cè)量的所有作。 查看詳情
  • RIGAKU理學(xué)射線衍射 XRD 系統(tǒng) RIGAKU理學(xué)射線衍射 XRD 系統(tǒng)TFXRD-200,是一款專用的 XRD 工具,用于測(cè)量大直徑晶圓上的薄膜,測(cè)量薄膜厚度、結(jié)晶度、復(fù)合材料的組成比、外延片晶格弛豫等。 查看詳情
  • RIGAKU理學(xué)射線衍射 XRD 系統(tǒng) RIGAKU理學(xué)射線衍射 XRD 系統(tǒng)TFXRD-300,是一款專用的 XRD 工具,用于測(cè)量大直徑晶圓上的薄膜,測(cè)量薄膜厚度、結(jié)晶度、復(fù)合材料的組成比、外延片晶格弛豫等。 查看詳情
  • RIGAKU理學(xué)在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具 RIGAKU理學(xué)在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具XTRAIA XD-3200,是一款多用途 X 射線計(jì)量工具,可在大批量生產(chǎn)中對(duì)橡皮布和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進(jìn)行無(wú)損分析,吞吐量高。測(cè)量結(jié)果包括 X 射線反射 (XRR) 的薄膜厚度、密度和粗糙度,以及高分辨率 XRD (HRXRD) 的外延膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格松弛和結(jié)晶度。 查看詳情
  • RIGAKU理學(xué)在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具 RIGAKU理學(xué)在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具XTRAIA XD-3300,是一款多用途 X 射線計(jì)量工具,可在大規(guī)模生產(chǎn)中以高通量對(duì)橡皮和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進(jìn)行無(wú)損分析。測(cè)量結(jié)果包括 X 射線反射 (XRR) 的薄膜厚度、密度和粗糙度,以及高分辨率 XRD (HRXRD) 的外延膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格松弛和結(jié)晶度。 查看詳情
  • RIGAKU理學(xué)在線X射線膠片密度監(jiān)測(cè)器 RIGAKU理學(xué)在線X射線膠片密度監(jiān)測(cè)器XTRAIA MF-3000, 查看詳情
  • RIGAKU理學(xué)在線X射線膠片厚度監(jiān)測(cè)器 RIGAKU理學(xué)在線X射線膠片厚度監(jiān)測(cè)器XTRAIA MF-3000, 查看詳情
  • RIGAKU理學(xué)XRREDXRF和XRD 測(cè)量工具 RIGAKU理學(xué)XRREDXRF和XRD 測(cè)量工具XTRAIA MF-2000,對(duì)*大 200 mm 的晶圓進(jìn)行成分和厚度 (EDXRF)、厚度、密度和粗糙度 (XRR) 的高精度測(cè)量,以檢測(cè)光學(xué)或超聲技術(shù)無(wú)法實(shí)現(xiàn)的無(wú)圖案和圖案薄膜。 這種先進(jìn)的 X 射線計(jì)量工具使產(chǎn)品和毯狀晶圓的高通量測(cè)量變得實(shí)用,從超薄單層薄膜到多層層壓板。 查看詳情
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