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  • RIGAKU日本理學 臺式熒光X射線分析儀 這是一種使用封閉式 X 射線管的臺式全內(nèi)反射熒光 X 射線分析儀。采用全內(nèi)反射熒光X射線光譜儀,可以高靈敏度地對固體樣品表面進行元素分析。雖然是臺式,但配備了全自動光軸調(diào)整系統(tǒng),無論基材如何,都可以進行穩(wěn)定的分析。另外,由于可以改變X射線的入射角度,因此不僅可以獲得表面附近的元素信息,還可以獲得深度方向的元素信息。 查看詳情
  • RIGAKU日本理學 反射熒光X射線分析儀 這是一種采用全內(nèi)反射熒光X射線法,以非破壞性、非接觸方式高靈敏度分析晶圓表面污染情況的裝置。兼容300mm和200mm晶圓,可以分析從輕元素Na到重元素U的極痕量污染元素。采用載物臺驅(qū)動系統(tǒng),消除晶圓衍射X射線的干擾。 查看詳情
  • RIGAKU日本理學 反射熒光X射線分析儀 這是一種采用全內(nèi)反射熒光X射線法,以非破壞性、非接觸方式高靈敏度分析晶圓表面污染情況的裝置。兼容300mm和200mm晶圓,可以分析從輕元素Na到重元素U的極痕量污染元素。 查看詳情
  • RIGAKU日本理學 反射熒光X射線分析儀 這是一種采用全內(nèi)反射熒光X射線法,以非破壞性、非接觸方式高靈敏度分析晶圓表面污染情況的裝置。它與 ~200mm 晶圓兼容,可以分析從輕元素 Na 到重元素 U 的極痕量污染元素。采用載物臺驅(qū)動系統(tǒng),消除晶圓衍射X射線的干擾。 查看詳情
  • RIGAKU理學斜入射X射線CD測量工具 RIGAKU理學斜入射X射線CD測量工具XTRAIA CD-3010G,可以使用 GISAXS 和 X 射線反射 (XRR) 測量來測量 CD,以測量薄膜厚度、密度和粗糙度。兼容*大 300 毫米的晶圓 查看詳情
  • RIGAKU理學透射X射線CD測量工具 RIGAKU理學透射X射線CD測量工具XTRAIA CD-3200T,TSAXS 是一種用于 CD 測量的在線小角 X 射線散射方法。*大 300 mm 晶圓*先進的設備微形狀(淺/深圖案)測量設備可以對納米結(jié)構(gòu)進行無損測量,例如橫截面輪廓、深度、形狀和傾斜度。 獲取反映橫截面形狀的 X 射線衍射圖像。 查看詳情
  • RIGAKU理學自動 X 射線單晶取向測量系統(tǒng) RIGAKU理學自動 X 射線單晶取向測量系統(tǒng) FSAS III,Si、Ge、GaAs、SiC、石英、LN、LT、藍寶石、金紅石、螢石和各種其他單晶材料的切割方向被準確地傳達到線鋸和其他切割機。 切割后的方向測量也可以準確進行,而不受作員的影響。 查看詳情
  • RIGAKU理學自動晶圓晶面取向 X 射線系統(tǒng) RIGAKU理學自動晶圓晶面取向 X 射線系統(tǒng) FSAS II,該設備自動測量晶圓主表面的切割角度、OF 和缺口位置。 查看詳情
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